Massavirtaus valvonnassaKaasun massavirtausmittaus on lämpötilasta ja paineesta riippumaton, ja siksi prosessikaasun säätely on vakaata ja toistettavaa. Massavirtaussäätimet sisältävät PID-säätimen ja niitä voidaan ohjata standarditiedonsiirron tai kenttäväylän kautta.

Säätöventtiileitä voidaan käyttää pneumaattisten, moottoritoimisten, piezosähköisten tai magneettisten toimilaitteiden kanssa. Magneettiset säätöventtiilit tunnetaan paremmin nimellä proportionaaliventtiilit ja ne kattavat koot aina 25mm asti. Proportionaaliventtiilin avulla voidaan toteuttaa sekä avoin että suljettu säätöpiiri.
Avoin säätöpiiri säätää venttiiliä ilman takaisinkytkentäsignaalia, kun taas suljettu säätöpiiri säätää asetusarvon ja todellisen arvon välistä eroa. Sulkuventtiilit, joiden toimisuunta on normaalisti kiinni, toimivat Bürkertin proportionaaliventtiilien perustana. Suoratoimisissa proportionaaliventtiileissä virtaus tulee männän alapuolelle, kun taas apuohjatuissa malleissa virtaus tulee männän yläpuolelle.