Jaa sähköpostilla
Kaikki tarvittavat kentät eivät täyttyneet
lähetä sähköposti

Läpivirtausastian CMOS anturi

Mittaus tehdään suoraan ohituskanavassa.

Laminaarinen virtauselementti pääkanavassa saa aikaan hienoisen paineen putoamisen, mikä ohjaa pienen osa kokonaisvirrasta ohituskanavaan. Siellä sijaitseva anturi tallentaa massavirran määrän suoraan mittaamalla lämpötilaeron. Tässä tapauksessa mittaus suoritetaan erityismuotoillusta virtauskanavasta, jonka seinämä sisältää Si-sirun, jonka kalvo on paljaana yhdessä kohdassa. CMOSens ® -teknologiaa käytettäessä lämmitysvastus liitetään kalvoon yhdessä kahden lämpötila-anturin kanssa, jotka sijoitetaan kalvon eteen ja taakse. Jos lämmitysvastuksessa on jatkuva virransyöttö, lämpötila-antureiden jännite-ero mittaa virtauskanavan läpi virtaavan massavirran.

Ohivirtausanturin toimintaperiaate CMOSSens-teknologiasovelluksessa (ohivirtauskanavan läpileikkaus).