Mittaukset suoraan läpivirtauskanavasta
Ohivirtausanturin toimintakaavio, kun käytetään CMOSSens -teknologiaa (läpileikkaus ohivirtauskanavasta)
Mittaus tehdään suoraan ohivirtauskanavasta. Laminaarivirtauselementti pääkanavassa saa aikaan pienen paineen alentumisen, mikä ohjaa pienen osan virrasta ohivirtauskanavaan. Siellä sijaitseva anturi mittaa massavirran nopeuden suoraan mittaamalla lämpötilaeron. Tässä tapauksessa mittaus tehdään erityisesti muotoillusta virtauskanavasta, jonka seinämässä on Si-siru, jonka kalvo on paljastettu. Jos CMOSens ® -teknologiaa käyttävä lämmitysvastus, jonka jännite on tasainen, jännite-ero lämpötila-antureiden välillä mitataan kaasun massavirrasta, joka ohjautuu sirun ohitse.