Pietsoresistiivinen anturi
Anturin suojaamiseksi pietsoresistiivinen anturi täytetään välitysnesteellä.
Prosessiaine eristetään anturista ruostumattomalla teräskalvolla. Kalvon taipuminen ulkoisen paineen vaikutuksesta saa aikaan muutoksen pietsoresistiivisen anturin ympärillä olevan välitysnesteen paineeseen. Anturi antaa paineeseen verrannollisen signaalin, joka muunnetaan 4 - 20 mA lähtöviestiksi.
Mittausmenetelmä sopii erittäin hyvin matalien paineiden mittaamiseen ja anturi kestää suuren ylikuormituksen.
Kaavio:
Pietsoresistiivinen anturielementti
Kalvo
Paineanturin kollektori
Välitysneste
Pietsoresistiivisen anturin mittausperiaate